1. Berührungsfreie optische Methoden
µsurf expert (NanoFocus AG)
Scandisk Konfokalmikroskop
4 verschiedene Objektive (10x – 100x)
Messbereich: xy 160 – 1600 µm (größere Flächen durch Stitching), z 350 nm (piezo), 50 nm (motor)
max. Auflösung: xy 200 nm, z 3 nm
Messzeit: Sekunden - Minuten
MicroGlider (Fries Research & Technology GmbH)
Weißlichtinterferometer, Abrastern der Oberfläche
Messbereich: xy bis 100 mm, z 100 µm - 1mm (2 Sensoren)
Auflösung: xy 1 µm, z 10 nm Messzeit abhängig von Anzahl der Messpunkte (1000x1000 ==> ca. 1 h)
zusätzlich Schichtdickenmessung (Interferometrie) möglich