µsurf expert  (NanoFocus AG)
Scandisk Konfokalmikroskop
4 verschiedene Objektive (10x – 100x)
Messbereich: xy 160 – 1600 µm (größere Flächen durch Stitching), z 350 nm (piezo), 50 nm (motor)
max. Auflösung: xy 200 nm, z 3 nm
Messzeit: Sekunden - Minuten

MicroGlider (Fries Research & Technology GmbH)
Weißlichtinterferometer, Abrastern der Oberfläche
Messbereich: xy bis 100 mm, z 100 µm - 1mm (2 Sensoren)
Auflösung: xy 1 µm, z 10 nm Messzeit abhängig von Anzahl der Messpunkte (1000x1000 ==> ca. 1 h)
zusätzlich Schichtdickenmessung (Interferometrie) möglich

Universal Surface Tester UST^© (INNOWEP GmbH)
Profilometer: mechanische Abtastung des Profils (zwei- und dreidimensional)
Analyse von Topographie, Struktur, Abrieb, Verschleiß, Kratzfestigkeit, Mikroreibung, Haptik
Messbereich: xy 50 mm, z 250 µm
Auflösung: xy 1 - 100 µm, z 60 nm

Rasterkraftmikroskopie (AFM, SPM)
verschiedene Geräte verfügbar (MultiMode, Dimension 3100, Dimension ICON - Bruker Corp.)
mechanisches Abrastern im Nanometerbereich
Messbereich: xy 0,5 – 90 µm, z 10 µm
Auflösung: xy 10 nm µm, z 1 nm
Messzeit: 5 – 60 min (abhängig von Fläche, Rauheit und Bildauflösung)

mehr