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Selbstjustage von Mikrochips mit Hilfe der Oberflächenspannung von Flüssigkeiten

Förderer:
Qimonda Dresden GmbH & Co. KG
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF)


Ansprechpartner:
Dr. Karina Grundke
Dr. Astrid Drechsler
Dr. Alla Synytska

Laufzeit:
2006-2007

Diese Pilotstudie beschäftigte sich mit der Machbarkeit der Selbstjustage von Mikrochips mit Hilfe von Flüssigkeitströpfchen. Modellrechnungen mittels Surface Evolver zeigten das Verhalten der Tropfen unter Justagebedingungen sowie den Einfluss verschiedener Parameter. Es wurden Methoden entwickelt und getestet, um Silizium-Oberflächen hydrophil/hydrophob zu strukturieren und damit eine selektive Benetzung durch das Justagemedium zu erzielen.

Modellierung von Flüssigkeitströpfchen im Justageprozess
Hydrophil/hydrophob strukturierte Oberfläche mit kondensierten Wassertröpfchen (Durchmesser 20 µm)
Justage-Setup

Mit aufgestempelten selbstorganisierten Monolagen aus geeigneten Verbindungen konnten Kontaktwinkeldifferenzen über 120° erreicht werden. Mit den so strukturierten Oberflächen wurden erste Justageexperimente mit Wasser durchgeführt. Diese zeigen, dass eine Justage mit Flüssigkeitströpfchen praktikabel ist.

 
Self-alignment of microchips by means of the surface tension of liquids
Selbstjustage von Mikrochips mit Hilfe der Oberflächenspannung von Flüssigkeiten

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