Förderer:
Qimonda Dresden GmbH & Co. KG
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF)
Ansprechpartner:
Dr. Karina Grundke
Dr. Astrid Drechsler
Dr. Alla Synytska
Laufzeit:
2006-2007
Diese Pilotstudie beschäftigte sich mit der Machbarkeit der Selbstjustage von Mikrochips mit Hilfe von Flüssigkeitströpfchen. Modellrechnungen mittels Surface Evolver zeigten das Verhalten der Tropfen unter Justagebedingungen sowie den Einfluss verschiedener Parameter. Es wurden Methoden entwickelt und getestet, um Silizium-Oberflächen hydrophil/hydrophob zu strukturieren und damit eine selektive Benetzung durch das Justagemedium zu erzielen.

- Modellierung von Flüssigkeitströpfchen im Justageprozess

- Hydrophil/hydrophob strukturierte Oberfläche mit kondensierten Wassertröpfchen (Durchmesser 20 µm)

- Justage-Setup
Mit aufgestempelten selbstorganisierten Monolagen aus geeigneten Verbindungen konnten Kontaktwinkeldifferenzen über 120° erreicht werden. Mit den so strukturierten Oberflächen wurden erste Justageexperimente mit Wasser durchgeführt. Diese zeigen, dass eine Justage mit Flüssigkeitströpfchen praktikabel ist.
